Sistem Vakum Ultra Tinggi

Penerangan ringkas:

Set lengkap peralatan vakum ultra tinggi digunakan secara meluas dalam penyelidikan saintifik dan pengeluaran dalam bidang sains bahan, optik, fizik, eksperimen sains angkasa, dan pemesinan ketepatan.

1. Penunjuk teknikal

1. Ijazah vakum sistem: ijazah vakum muktamad<2x10-8pa, and the vacuum degree is better than 6x10-8pa when the manipulator is driven by the magnetic rod.

2. Ruang vakum: menggunakan struktur keluli tahan karat sfera, 316L, diameter dalam: 300mm.

Kadar kebocoran sistem<1x10-7pPa·L/S. 3.

4. Ruang vakum: Struktur keluli tahan karat berbentuk UFO (UFO), 316L, dimensi luaran: 800x360mm.

5. Ruang lurus: struktur keluli tahan karat sfera, 316L, saiz: diameter dalam SD300mm.

6. Sistem gas: 6.1. Ruang gas-pepejal, ruang inframerah suhu rendah, dan ESEM mempunyai keperluan bekalan gas, dan sistem bekalan gas bersatu (yang boleh merealisasikan konfigurasi 3 jenis gas) diperlukan untuk merealisasikan bekalan gas ke setiap ruang tindak balas. Kadar aliran pengambilan boleh 0~50SC.6.2. Injap yang disambungkan ke ruang vakum adalah semua injap sudut manual semua logam vakum sangat tinggi VAT.

7. Setiap subsistem menggunakan sistem pengepaman vakum bebas, yang tidak mengganggu antara satu sama lain. Pendirian sokongan bebas boleh dialihkan dan diasingkan pada bila-bila masa.

2. Komposisi peralatan

Sistem ini adalah sistem vakum ultra tinggi dengan struktur berbilang ruang. Peralatan ini terutamanya terdiri daripada sistem khazanah pasang siap, sistem ruang vakum UFO, sistem kebuk tindak balas pepejal gas, sistem pemindahan dan penyerahan sampel, sistem pemerhatian D, sistem gas, kawalan elektrik dan kawalan komputer. sistem, sistem tambahan, dsb.

Cool tags: sistem vakum ultra tinggi